Описание
Содержание основного вещества, % — 99,999% полупроводниковой чистоты EXTREMA.
Применяется в процессах термического окисления и отжига для очистки при производстве микросхем сверхбольшой интеграции.
CAS: 156-60-5
Синонимы: Диоформ, транс-ацетиленхлорид, транс-1,2-дихлорэтан, транс-дихлорэтилен, ацетилен дихлорид, 1,2-дихлорэтилен, 1,2-дихлорэтен, (Е) -1,2-дихлорэтилен, сим-дихлорэтилен, 1, 2-транс-дихлорэтилен, (E) -1,2-дихлорэтен, транс-дихлорэтен, 1,2-дихлораэтан, транс-1,2-дихлорэтилен, этен, 1,2-дихлор-, дихлорэтилен-транс, этен, 1 , 2-дихлор-, (E) -, транс-1,2-DCE, RCRA отходов нет. U079, этилен, 1,2-дихлор-
Химическая формула: | C2H2Cl2 | Молярная масса: | 96.943280 [g/mol] |